Vakum tekniginin öneminin anlasilmasi ve laboratuarlarda kullanilmasi ilk defa 1905-1913 yillarindadir. Çalismalar, yeni pompa ve ölçü aygitlarinin en yüksek vakumun elde edilmesi ve duyarlilikla ölçülmesi yolunda olmustur. Vakum, 760mm-Hg (Torr) olarak kabul edilen açik hava basincini kademeli pompalar ile yenip düsürmek baska bir deyisle söz konusu gaz (yada hava) basincini yaratan moleküllerin pompalarla emilmesi yada yogusmasi olarak tanimlanabilir.
Basinç araları asagidaki gibi tanimlanabilir:
Alçak Vakum............................. 760-25 torr
Orta Vakum................................ 25-10-3torr
Yüksek Vakum........................... 10-3-10-6torr
Çok Yüksek Vakum................... 10-6-10-9torr
Ultra Yüksek Vakum.................. 10-9torr’un altinda
Vakum bir çok önemli uygulamalar için gereklidir.Yariiletken tasarimlarin yapilmasinda, x-isinlari tüplerinde, yüksek sicaklik isteyen firinlarda, elektron mik-roskoplarinda, kütle spektrometrelerinde ve birçok karmasik sistemde vakum teknigi önemli yere sahiptir.
Vakum yapilan bir hacim içindeki flamana uygulanan küçük akimlarla büyük sicakliklara erisilir. Bilindigi gibi bir flaman üzerindeki sicaklik derecesini azaltan en önemli etken hava kaybi ile isinin kaybidir. Ince film büyültme deneylerinde hava moleküleri film yüzeyi arasindaki etkilesmeleri minimuma indirmek, havanin oksit tabakasindan korumak için yine alçak basinç kosullari aranir.
Basinç araları asagidaki gibi tanimlanabilir:
Alçak Vakum............................. 760-25 torr
Orta Vakum................................ 25-10-3torr
Yüksek Vakum........................... 10-3-10-6torr
Çok Yüksek Vakum................... 10-6-10-9torr
Ultra Yüksek Vakum.................. 10-9torr’un altinda
Vakum bir çok önemli uygulamalar için gereklidir.Yariiletken tasarimlarin yapilmasinda, x-isinlari tüplerinde, yüksek sicaklik isteyen firinlarda, elektron mik-roskoplarinda, kütle spektrometrelerinde ve birçok karmasik sistemde vakum teknigi önemli yere sahiptir.
Vakum yapilan bir hacim içindeki flamana uygulanan küçük akimlarla büyük sicakliklara erisilir. Bilindigi gibi bir flaman üzerindeki sicaklik derecesini azaltan en önemli etken hava kaybi ile isinin kaybidir. Ince film büyültme deneylerinde hava moleküleri film yüzeyi arasindaki etkilesmeleri minimuma indirmek, havanin oksit tabakasindan korumak için yine alçak basinç kosullari aranir.
Hiç yorum yok:
Yorum Gönder